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新聞資訊

日本高精度智能電子產(chǎn)品研發(fā)

時間：2016-05-16 16:09:10

　【日經(jīng)BP社報道】日本電波工業(yè)開發(fā)出了傳感器元件使用石英晶體的傳感器模塊，可通過頻率檢測重力、加速度、傾斜及位移等物理量的微小變化。加速度的最大檢測范圍是±50kGal，最小精度為1mGal。與原來的MEMS傳感器相比，加速度檢測范圍和精度都提高了一個數(shù)量級，能在廣泛的動態(tài)范圍內(nèi)檢測加速度。適用于地震測量、資源勘探、構(gòu)造物震動測量、傾斜儀、土木調(diào)查、機械和車輛的平衡調(diào)整/速度檢測、人工觸覺、磁場檢測及自動型無人機械等。

　　該模塊在安裝了溫度補償用恒溫槽之后的尺寸最大為W100mm×D100mm×H75mm。重550g。該模塊構(gòu)造簡單，能夠直接無線傳輸檢測數(shù)據(jù)，而且不需要將電壓轉(zhuǎn)換成頻率的裝置，因此，不論單個模塊的成本還是裝入測量、勘探系統(tǒng)后的總體成本都得以降低。對于設(shè)置和拆除工作，還有利于減輕負擔(dān)和縮短時間。

　　與其他傳感器材料相比，石英晶體具有彈性好（是硅的約1600倍）、耐撞擊性好及檢測范圍廣等特點。但是，石英晶體的機電耦合系數(shù)比其他材料小，因此，如果用于傳感器，元件方面需要高穩(wěn)定的微細加工制造技術(shù)，檢測信號方面需要頻率穩(wěn)定技術(shù)等。日本電波工業(yè)此次在開發(fā)時，進一步改進了該公司作為石英晶體器件綜合廠商培育起來的這些技術(shù)。

　　為檢測微小變化，技術(shù)人員將此次的傳感器元件做成了懸臂梁形狀，采用了先把設(shè)在自由端的電極與相對電極間的距離變化轉(zhuǎn)換成靜電容量變化再轉(zhuǎn)換成頻率的構(gòu)造。材料采用的是最高級的人造石英晶體，采用了溫度變化引起頻率變化最小的AT切割型石英晶體振蕩器。樣品價格方面，帶溫度補償?shù)哪K的參考價格為每個15萬日元。

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